南大光电半导体材料有限公司年产190吨前驱体材料产业化项目(一期1阶段)安全设施竣工验收安全评价报告 （评价报告编号：皖WH20251000101)

评 价 信 息 表

评价报告名称

南大光电半导体材料有限公司年产190吨前驱体材料产业化项目(一期1阶段)安全设施竣工验收安全评价报告 

（评价报告编号：皖WH20251000101)

行业类别

化工

评价类型

安全验收评价

项目地址

安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号

项目简介

南大光电半导体材料有限公司成立于2019年01月10日，注册资本33800万人民币，企业类型为其他有限责任公司，法人代表茅炳荣，注册地址安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号，占地面积59883㎡，经营范围主要包括高新技术光电子及微电子材料的研究、开发、生产、销售等。

南大光电半导体材料有限公司年产190吨前驱体材料产业化项目(一期1阶段)（以下简称“本项目”）于南大光电半导体材料有限公司现有厂区范围内建设，目前已建成试生产，建设内容主要有：

（1）生产装置：①依托A1车间新建年产120吨正硅酸乙酯（TEOS）生产线和六氯乙硅烷（HCDS）/新戊硅烷（NPS）/1，1，1-三氯乙硅烷（3CDS）提纯生产线，其中HCDS/NPS/3CDS三个产品共线，不同时生产，年产分别为20吨、5吨、5吨。②依托A2车间新建年产3吨四（二甲氨基）钛（TDMAT）生产线。③依托钢瓶处理车间新增年产2吨五氯化钼（NAP-962）升华提纯生产线；搬迁来1条四氯化铪生产线、1条三氯化铟生产线。

（2）储存设施：依托甲类仓库1、甲类仓库2、甲类仓库4、丙类仓库存储本项目涉及的原辅材料和产品。

（3）公辅工程：①A2车间新增公辅用冷热一体机，室外设备区增加尾气处理一体式设备Scrubber。②在钢瓶处理车间新增超净间、通风橱、烘干区、真空区等房间。③年产45吨半导体先进制程用前驱体产品产业化项目（一期）中DIPAS尾气进年产68吨半导体先进制程用硅前驱体材料产业化项目（一期）的尾气处理系统。④污水处理站南侧新建堆场，用于放置闲置设备。⑤其他公辅工程如供水、供电、供气、消防、污水处理等均依托原有设施。

根据《危险化学品目录》（2015版，2022年修订）、《危险化学品目录（2015版）实施指南（试行）》、《应急管理部办公厅关于修改〈危险化学品目录（2015版）实施指南（试行）〉涉及柴油部分内容的通知》（应急厅函〔2022〕300号）进行辨识，本项目涉及产品五氯化钼、正硅酸乙酯和回收套用的溶剂正己烷等均属于危险化学品，本项目属于扩建的危险化学品生产项目。

根据《中华人民共和国安全生产法》（国家主席令[2021]第88号）、《危险化学品安全管理条例》(国务院令第591号[2013修订])及《危险化学品建设项目安全监督管理办法》(安监总局令第45号[2015修订])等法律、法规的要求，本项目装置在建成投产前需进行安全设施竣工验收安全评价。

2025年6月10日，受南大光电半导体材料有限公司委托，我公司承担本项目装置的安全设施竣工验收安全评价工作。

技术负责人

孙红敏

过程控制负责人

刘根

姓名

职务

职业资格证编号

项目负责人

田莉娟

组长

1600000000200506

项目组成员

赵明

组员

1700000000300688

罗健

组员

20201104634000000971

方卫华

组员

20221004634000000736

陈明广

组员

2017033650332015650103000567

夏炎

组员

20231004634000002099

报告编制人

田莉娟

组长

1600000000200506

陈明广

组员

2017033650332015650103000567

  报告审核人

李思容、王斌

现场开展评价人员

田莉娟、赵明、陈明广、罗健

专家评审情况

通过验收评审。

评价结论

南大光电半导体材料有限公司年产190吨前驱体材料产业化项目(一期1阶段) 已具备安全设施竣工验收条件，符合《危险化学品生产企业安全生产许可证实施办法》（安监总局令41号，2017年修订）的发证条件，符合安全生产条件。

现场开展照片